Информация о ресурсе

Название

Методы анализа микро- и наносистем. Проведение сканирующей зондовой литографии на сканирующем зондовом микроскопе NanoEducator

Авторы

Авачев А.П., Вишняков Н.В., Воробьев Ю.В., Рыбин Н.Б.

Тип ресурса

Методические указания

Предметная област

Электроника. Радиотехника

Подкатегория

Использование космических систем для связи и навигации

Год

2016

УДК

621.385.833(021)

Шифр

621.385.833(021)

Анотация

Содержат краткие теоретические сведения о методах сканирующей зондовой литографии

Ключевые слова

МИКРОСКОПИЯ СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ, ЛИТОГРАФИЯ, СКАНИРОВАНИЕ, ИЗОБРАЖЕНИЯ, МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ, РГРТУ, УЧЕБНИКИ

Файл

970.pdf