Информация о ресурсе

Название

Ионное распыление

Авторы

Гуров В.С., Шадрин Н.И, Геннадьев В.М., Иваников А.С.

Тип ресурса

Методические указания

Предметная област

Электроника. Радиотехника

Подкатегория

Технология строительно-монтажных работ

Год

2007

УДК

Шифр

Анотация

Содержат сведения о физических процессах взаимодействия ионов с веществом, характеристиках ионного распыления и схемах распылительных устройств

Ключевые слова

энергия смещения, цепочки смещения, пороговая энергия,коэффициент распыления, катодное (ионное) распыление,магнетронное распылительное устройство

Файл

509.rar