Содержат общие сведения об основах растровой электронной микроскопии, аппаратуре обеспечения метода и экспериментальную часть. Предназначены для студентов специальности 071400 «Физическая электроника», выполняющих лабораторные работы по курсу «Физические основы современных методов получения и анализа чистых материалов электронной техники».