Информация о ресурсе
Название
Технология и физика приборов пленочной электроники
Тип ресурса
Методические указания
Предметная област
Электроника. Радиотехника
Подкатегория
Ювелирная промышленность
Год
2008
УДК
621.382.002(021)
Шифр
621.382(021)
Анотация
Содержат сведения о методах нанесения пленочных покрытий, придания им требуемых свойств, формирования структур и элементов заданной конфигурации
Ключевые слова
ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, ИСПАРЕНИЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ, ДИФФУЗИЯ ТЕРМИЧЕСКАЯ, ПЕРЕНОС НОСИТЕЛЕЙ, ПЛЕНКИ, ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ, НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ПЛЕНКИ ТОНКИЕ, РАСПЫЛЕНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ, ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК, ПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ, ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА, СОЛН
Файл
1597.pdf