Информация о ресурсе

Название

ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР ЭЛЕКТРОНИКИ

Авторы

А в а ч ё в Алексей Петрович Л и т в и н о в Владимир Георгиевич М и т р о ф а н о в Кирилл Валентинович М и ш у с т и н Влад

Тип ресурса

Методические указания

Предметная област

Общественные науки в целом

Подкатегория

Год

2011

УДК

УДК 621.3

Шифр

Анотация

Содержат сведения по изучению принципов и навыков работы на сканирующих зондовых микроскопах для исследования свойств материалов и структур электроники. Предназначены для подготовки дипломированных специалистов по направлению 200100 – «Электроника и микроэлектроника».

Ключевые слова

Методы исследования, сканирующая зондовая микроскопия, атомно-силовая микроскопия, туннельная микроскопия

Файл

1161.pdf