Библиотека РГРТУ

Информация о ресурсе

Название
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ ЧАСТЬ 1
Авторы
А в а ч ё в Алексей Петрович З у б к о в Михаил Владимирович К о с т р ю к о в Сергей Анатольевич М и ш у с т и н
Тип ресурса
Методические указания
Предметная област
Общественные науки в целом
Подкатегория
Год
2012
УДК
УДК 621.3
Шифр
Анотация
Рассматриваются лабораторные работы по курсу «Технология материалов электронной техники». Предназначены студентам направления 200100 – «Электроника и микроэлектроника».
Ключевые слова
Диффузия, ионная имплантация, глубина залегания перехода, загонка примеси, разгонка примеси, каналирование, доза ионов
Файл
1159.pdf