Информация о ресурсе
Название
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
ЧАСТЬ 1
Тип ресурса
Методические указания
Предметная област
Общественные науки в целом
Подкатегория
Год
2012
УДК
УДК 621.3
Шифр
Анотация
Рассматриваются лабораторные работы по курсу «Технология материалов электронной техники».
Предназначены студентам направления 200100 – «Электроника и микроэлектроника».
Ключевые слова
Диффузия, ионная имплантация, глубина залегания перехода, загонка примеси, разгонка примеси, каналирование, доза ионов
Файл
1159.pdf