Содержат сведения по изучению основ физико-химических процессов в технологии микро- и наноэлектроники в части методов нанесения (эпитаксия, магнетронное напыление), модифицирования (ионная имплантация) и удаления (электрохимическое травление) вещества. Предназначены для подготовки дипломированных специалистов по направлению 200100 – «Электроника и микроэлектроника».